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探针、探针头及芯片测试设备

发明专利有效
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10权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

于海超; 李伟

IPC 分类

G01R 31/28 (2006.01)

本申请公开探针、探针头及芯片测试设备。所述探针包括针尾段和插入段,所述插入段笔直,所述插入段用于插入多块导引板内,包括用于与被测物的测试点接触的针尖;所述针尾段包括弹性部,所述弹性部与所述插入段连接,与所述针尖相对。通过设置弹性部,降低了探针在接触初始阶段的力值斜率,很好地解决了探针在接触初始阶段力值迅速上升的问题,从而,缓冲效果好,有利于减小探针偏离理想接触点的问题,此外,插入段笔直,本申请的探针也具有直线型探针的优点,比如,不会制约插针效率,更不会导致无法自动化植针。