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案件記録

一种串行参数测试机台

発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

IPC分類

G01R 31/28 (2006.01)G01R 31/01 (2020.01)G01R 1/04 (2006.01)G01R 1/02 (2006.01)G01R 1/073 (2006.01)

本发明属于晶圆测试领域,具体的说是一种串行参数测试机台,包括测试台,所述测试台上设置有钣金外壳,所述测试台上端面一侧固定连接有机架,所述机架上端一侧固定连接有支架一,所述支架一上横向等距设置有多个测试探针,所述机架上还设置有晶圆导向组件。本发明利用晶圆导向组件,可实现对多个晶圆的连续测试,并且,整个测试过程中,可在挡板一、挡板二、导向板的导向作用下,将姿态不统一的多个晶圆转变平放横向排列状态,从而便于测试探针逐个对晶圆进行测试,并且,多条输送通道中的晶圆同时进行测试,测试效率高。

外部リソース