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기록
单晶炉磁场强度测量装置及方法
발명유효
1조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
马旭武; 马玉怀; 杨凯; 王黎光; 马彦新
IPC 분류
G01R 33/02 (2006.01)
一种单晶炉磁场强度测量装置及方法,包括上支撑盘、下支撑盘、纵向调节机构;下支撑盘的下端面具有内齿圈,下支撑盘的下端面转动安装与内齿圈相啮合的转盘,转盘的下端面偏心安装磁场强度探头,下支撑盘下端面的中心处转动安装与转盘相啮合的驱动轮,驱动轮转动时能带动转盘沿内齿圈转动、转盘自转;上支撑盘设于下支撑盘的正上方;纵向调节机构包括动力部、驱动杆;驱动杆的下端转动连接下支撑盘的上端面、上端穿过上支撑盘相接于动力部,动力部能带动下支撑盘纵向往复移动。本发明通过控制磁场强度探头逐次下降、再辅以磁场强度探头沿单晶炉炉体转动的同时再形成自转的方式来实现同一高度下测量多个点位上的磁场强度,以提高测量的准确度。