一种物镜调节方法及套刻测量方法

本申请公开了一种物镜调节方法及套刻测量方法，通过移动补偿透镜到不同位置，并测量补偿透镜在不同位置时，经物镜对第一晶圆的标记进行成像时像的清晰度。在满足预设条件时停止移动补偿透镜，并获取补偿透镜的位置，使得像的清晰度最大。获取第一晶圆的厚度与物镜内补偿透镜的位置关系，对物镜内的补偿透镜的位置进行校准，从而补偿由光透过第一晶圆而产生的像差对套刻测量结果产生的误差。