集成激光诱导击穿光谱分析功能的光学显微镜系统及方法

本发明公开一种集成激光诱导击穿光谱分析功能的光学显微镜系统及检测方法，该系统包括：LIBS激光激发单元、位移平台、光谱采集单元、光学显微镜单元、显示终端；LIBS激光激发单元用于发射激光脉冲及激光聚焦；位移平台用于激光焦点和OM成像区域的同步定位；光谱采集单元用于捕捉等离子体发射光谱；光学显微镜单元用于采集OM图像及缺陷识别；显示终端用于显示OM图像和图谱信息，并输出检测报告。本发明集成激光诱导击穿光谱分析功能的光学显微镜系统使用光学显微镜成像并且系统可在OM图像中直接获得原位成分分析结果。