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기록

一种大行程压电物镜定位器

발명유효
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

徐国飞; 杨明远; 陈峰; 李颖; 刘鹏; 范维一

IPC 분류

G02B 21/24 (2006.01)H02N 2/02 (2006.01)H02N 2/04 (2006.01)H02N 2/00 (2006.01)

本发明涉及精密驱动与定位技术领域,公开了一种大行程压电物镜定位器,其包括台体和设于台体上方的台面。台体和台面的两侧分别连接有Z轴压电驱动器。Z轴压电驱动器用于驱动台面沿Z轴靠近或者远离台体。台体和台面之间还设有弹性组件。台面远离台体的一侧设有物镜接口。本发明采用2组Z轴压电驱动器。每组Z轴压电驱动器设置2个放大体串联。本发明通过两级位移放大,具有Z向大行程、大承载的优点,非常适于物镜纳米级运动控制。第一放大体、第二放大体上下并列、一体成型,第一压电陶瓷、第二压电陶瓷反向倾斜设置,整体结构设置合理、紧凑、重复定位精准度高、响应速度更快。