MEMS微镜和电磁式MEMS微镜

本发明实施例公开了一种MEMS微镜和电磁式MEMS微镜，该电磁式MEMS微镜包括基板、环形承载部、反射镜、线圈、x轴扭转梁、y轴扭转梁、压阻反馈结构、输入端子以及输出端子。具体地，基板上具有镂空结构，环形承载部转动设置于镂空结构中，反射镜连接环形承载部，线圈设置于环形承载部上，x轴扭转梁分别连接基板和环形承载部，y轴扭转梁分别连接反射镜和环形承载部，输入端子输入激励信号以驱动线圈，输出端子输出压阻反馈结构传出的压阻反馈信号，压阻反馈结构包括位于x轴扭转梁上的第一压阻反馈结构和位于y轴扭转梁上的第二压阻反馈结构。其中，输入端子和输出端子位于MEMS微镜的同一侧。