光学邻近效应修正方法

本发明公开了一种光学邻近效应修正方法，通过调整SRAF的宽度和厚度，改变其透光率，实现对晶圆线宽的影响，从而解决密集图形线条周期很小，空间不足，SRAF难以放置的问题，以及SRAF尺寸过小会发生劈裂的问题，优化光罩SRAF设计与晶圆线宽的协同关系，另外，由于插入窄曝光辅助图形在一张光罩上可以摆放更多图形，能减少光罩的拆分，有利于降低光罩成本。