用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质

根据本公开的示例实施例提供了用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质。该方法包括获取初始掩模图案，初始掩模图案包括主图形和至少一个初始辅助图形；获取多个候选辅助图形组，多个候选辅助图形组中的一个候选辅助图形组包括与主图形对应的至少一个候选辅助图形；确定多个候选辅助图形组的相应成像成本；以及基于多个候选辅助图形组的相应成像成本，确定用于优化初始掩模图案的至少一个目标辅助图形。以此方式，可以提高掩模图案在不同工艺条件下的成像性能。