掩膜版修复方法及其修复装置

一种掩膜版修复方法及其修复装置，掩膜版修复方法包括：提供掩膜版，所述掩膜版包括透光区；对所述掩膜版进行损伤缺陷的定位操作，以获取所述透光区中的损伤缺陷的位置信息；基于获取的所述损伤缺陷的位置信息的情况下，对所述损伤缺陷处进行平整化处理，用于提高所述损伤缺陷处表面的平整度。通过对损伤缺陷进行平整化处理，提高损伤缺陷处的表面平整度，相应降低损伤缺陷处的发生漫反射的概率，从而提高损伤缺陷处的透光率(例如，透光率提升到31％至100％)，进而提高了掩模版的质量。