基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用

本发明公开了一类基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用。该光刻胶组合物包括金属纳米颗粒、光敏剂、防扩散剂以及光刻胶溶剂，其中金属纳米颗粒为银纳米颗粒、铜纳米颗粒、金纳米颗粒。该光刻胶组合物具有良好的成膜性和优异的图案化成像能力，通过紫外、电子束或极紫外曝光，可以获得不同分辨率的光刻图案，形成的图案通过热处理后，具有良好的导电性，可以直接用于微纳器件的加工。