半导体处理设备

一种半导体处理设备，包括控制器，该控制器被配置为接收表示第一位置的确定信号，在该第一位置处激光束被预期照射第一液滴；计算第二位置，在该第二位置处激光束照射第一液滴；并且产生表示第二位置的测量信号；根据确定信号和测量信号产生第一误差信号和第二误差信号中的至少一个；根据第一误差信号和第二误差信号中的至少一个产生前馈信号；根据前馈信号和第一位置与第二位置之间在第一方向上的第一位置差产生反馈信号；并且通过将反馈信号与参考信号相加来确定供应第二液滴的第二特定时段的第二发射时间点。