毛细管放电三束等离子体环带耦合增强型EUV光源

本发明涉及极紫外（EUV）光刻技术领域，且公开了毛细管放电三束等离子体环带耦合增强型EUV光源；本发明通过梯度构型电极设计、光阑调控与精确同步触发，实现毛细管内三束放电等离子体在激光等离子体的辅助下有效耦合，形成发光端面积显著增大的环带状光源。解决了现有毛细管放电EUV光源单次发光功率过低的问题，从而可有效降低所需的工作重复频率，提升光源的功率水平，减少因高重频工作产生的放电碎屑与光源杂质、降低系统热负荷、缓解对光学元件和掩模的稳定性等要求，为EUV光刻提供一种单次发光功率更高、稳定性更好、更具工业化应用潜力的光源方案。