基于YOLOv8的光刻热点检测方法

本申请提供一种基于YOLOv8的光刻热点检测方法，包括：将包含光刻热点和非热点图像的ICCAD 2012数据集作为总数据集，并将其按照设定比例划分为训练集和测试集；通过数据增强方式对ICCAD 2012数据集进行扩充，以解决数据量较小的问题；YOLOv8的网络模型中嵌入注意力机制，以提高网络模型的泛化能力；将经过数据增强后的训练集输入到YOLOv8的网络模型中对模型进行训练学习；将经过数据增强后的测试集输入到YOLOv8的网络模型中，得到光刻热点的预测结果。快速、准确地预测出掩模板上图案的热点区域，并在后续的工作中对热点区域进行版图优化，以此缩短芯片的生产周期，提高芯片生产的良品率。