一种LDI曝光机对位的圆环复合靶标结构及其制作工艺

本发明提供一种LDI曝光机对位的圆环复合靶标结构，包括靶点件和叠层件；靶点件包括第一硬板叠层和设置于第一硬板叠层上的母靶，从第二硬板层顶部位置延伸至第三半固化粘接片内形成梯形的母靶，母靶上方的第一半固化片粘接片、第一硬板层上设置凹槽；叠层件包括第二硬板叠层和设置于第二硬板叠层上的圆环靶标，第二硬板叠层上对应母靶的位置设置圆环靶标。本发明的LDI曝光机对位的圆环复合靶标结构及其制作工艺，可以提高层间对准度，减少制作过程中优于机台精度问题造成的层间偏移，对图形结构紧密对层偏要求高的PCB板可以满足正产要求，可以解决图形精密、空间小镭射孔孔环小的偏孔问题，提高生产效率，提升产品良率。