一种基于小波变换的时变迭代学习前馈控制系统及方法

本发明属于精密运动控制与智能控制算法领域，涉及一种基于小波变换的时变迭代学习前馈控制系统及方法。该系统包括：加减运算器、第一存储器、基于小波变换的时变鲁棒滤波器、学习滤波器、第一加法运算器、第二存储器、第二加法运算器、反馈控制器及被控对象。本发明通过重复采集轨迹跟踪误差信号，利用小波变换提取其相干功率谱与能量贡献分布，进而构建时变鲁棒滤波器，精确提取重复性误差分量。基于该重复性误差分量迭代更新前馈控制量，能有效抑制非重复性误差放大，显著提升轨迹跟踪精度。该方法适用于光刻机工件台、精密运动平台及超精密加工系统等需要高精度重复性轨迹跟踪的伺服系统。