一种纳米级步进器累加锚固点位移控制方法及系统

本发明属于微纳定位与控制技术领域，具体的说是一种纳米级步进器累加锚固点位移控制方法及系统，包括核心控制单元、主步进器驱动模块、纳米级执行器驱动模块、超高分辨率位移反馈模块、环境参数感知模块、数据存储与管理模块，通过该技术方案，累积位移精度、瞬态误差抑制、测量分辨率、控制响应速度以及对环境变化的鲁棒性方面，均表现出显著的优越性，能够将步进系统的累积位移精度提升至前所未有的纳米级水平，从而满足高精密工业应用的需求。