MFC标定回路及使用方法

本发明公开了一种MFC标定回路，所述MFC用于对其下游设备工艺气体进行流量控制，包括标定罐、第一阀门、第二阀门、第三阀门、真空系统、温度传感器、压力传感器和控制系统，标定罐用于连接至MFC的下游端，第一阀门设置于MFC和下游设备之间，第二阀门设置于MFC和标定罐之间，真空系统连接至标定罐，第三阀门设置于真空系统和标定罐之间，温度传感器和压力传感器分别连接至标定罐，控制系统分别连接并控制压力传感器、温度传感器、真空系统、第一阀门、第二阀门、第三阀门和待测MFC。本发明的标定回路能够在不拆卸MFC的情况下对其进行在线标定，减少标定时间，避免连续化生产中断，降低维护成本，支持高频重复标定，避免密封件磨损，增加使用寿命。