一种可远程监控的OLED生产设备故障诊断终端

本发明公开了一种可远程监控的OLED生产设备故障诊断终端，涉及故障诊断技术领域，包括以下步骤：设备关键工艺参数采集，得到设备运行数据；根据设备运行数据进行运行状态分析，得到异常指标；根据异常指标进行故障模式识别，得到设备故障类型；根据设备故障类型进行异常影响分析，得到关键影响参数；根据关键影响参数进行远程异常诊断，得到诊断结果；根据诊断结果进行异常趋势分析，得到设备健康状态。本发明通过参数偏离度计算和多参数关联分析，对采集到的关键工艺参数进行实时综合分析，量化参数偏离程度，识别参数间的耦合异常，提高了故障诊断的准确性和全面性，降低了误报和漏报率。