一种用于ESC晶圆的加热器温度控制方法及系统

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于ESC晶圆的加热器温度控制方法及系统。所述方法包括：获取原始温度数据与原始运行参数数据并处理，得到标准实时状态向量；根据所述标准实时状态向量识别得到多区域渗透引起的热量干扰模式；根据所述热量干扰模式和所述标准实时状态向量预测得到未来温度演变趋势；根据所述未来温度演变趋势确定全局热量解耦方案；对所述全局热量解耦方案进行校验与参数解析处理，得到基准控制参数序列；获取实时温度数据，基于所述基准控制参数序列与所述实时温度数据生成最终温控执行信号并执行。本方法解决了因热渗透效应导致的温度分布不均及控制滞后的技术问题。