一种半导体量测计算优化方法及系统

本发明涉及一种半导体量测计算优化方法及系统。该方法包括：提供计算分区和用户，所述用户包括第一用户和第二用户，所述计算分区包括包括第一分区和第二分区；利用所述第一分区进行并行全局搜索以生成初始点集；利用所述第二分区以所述初始点集为起点执行局部回归拟合，得到局部回归结果；以及对局部回归结果进行判断和迭代。本发明通过集成集群管理系统，将不同类型的计算任务自动调度至更高效的异构硬件上执行，解决了现有技术中计算资源利用率低、优化过程易陷入局部最优等问题。