基于集合化描述语言的半导体器件数据筛选方法及系统

本发明涉及半导体器件测试与测量数据处理技术领域，提供一种基于集合化描述语言的半导体器件数据筛选方法，包括构建包含用于表征几何参数的多维数据阵列；引入器件筛选插件机制对所述测量数据的筛选条件进行配置，当用户端发起DSL查询语句时，生成抽象语法树；将所述DSL查询语句中的实例关键字和/或集合关键字的选择子句归一为原子选择算子，对比较运算、算术运算与逻辑运算进行解析生成有序算子序列；根据所述算子序列进入筛选执行阶段，输出目标半导体器件数据集合。通过将原本依赖图形界面操作或分散脚本编写的器件数据选择过程转化为统一的文本化描述方式，灵活表达复杂的多条件组合筛选规则，且可直接嵌入建模内核或自动化脚本中调用。