极紫外光源碎屑清除装置及其设计方法和设计系统

本发明提供了一种极紫外光源碎屑清除装置及其设计方法和设计系统，其中设计方法包括：采用欧拉模型配合滑移边界建立气体流场模型，对真空或低压环境下的背景气体进行气体流场数值模拟；采用拉格朗日模型建立颗粒运动模型，对颗粒进行运动轨迹追踪计算；对气体流场和颗粒运动轨迹进行耦合计算，得到颗粒运动分布模拟结果；对颗粒运动分布模拟结果进行实验验证，确保颗粒运动的模拟结果与实际运动一致，并通过实验验证结果对模型参数进行修正；利用贝叶斯优化算法，采用高斯过程回归模型作为代理模型，以颗粒清除效率和能耗作为优化目标，对碎屑清除装置的结构设计参数进行全局优化，逐步逼近参数最优解，用于指导实际装置制造和应用。