一种旋转卡盘热变形的协同控制方法、设备及介质

本申请公开了一种旋转卡盘热变形的协同控制方法、设备及介质，涉及半导体技术领域。方法包括：采集旋转基座在运行过程中的局部温度分布与应变分布数据；采集旋转基座在热力耦合状态下的振动响应信号；在振动响应信号中提取频域特征参数；将局部温度分布、应变分布数据与频域特征参数输入至经预训练的热变形预测模型，得到所述旋转基座的热变形敏感区域，以及材料性能退化指数与热变形补偿参数；根据热变形补偿参数，生成对应的脉宽调制激励电流信号；将激励电流信号施加至热变形敏感区域的形状记忆合金网格，驱动产生与形变方向相反的补偿形变。本申请通过上述方法实现了对热变形趋势与材料性能退化的预测，使控制行为由被动响应转为主动干预。