一种半导体器件的布局优化方法及系统

本发明提供了一种半导体器件的布局优化方法及系统，涉及数据处理技术领域，方法包括：获取待布局的半导体器件设计数据；根据所述半导体器件设计数据生成初始布局；根据所述初始布局，计算所述半导体器件的几何环境参数；将所述几何环境参数输入至WPE模型和LOD模型，输出所述半导体器件的电气修正参数集合；根据所述初始布局的布局信息，对所述半导体器件进行性能统计评估，得到所述半导体器件的良率；根据所述良率和所述电气修正参数集合，构建半导体器件布局优化模型；对所述半导体器件布局优化模型进行求解，得到所述半导体器件的最优布局策略；执行所述最优布局策略。