半导体工艺制作的螺旋电感的图形生成方法

本发明提供了一种半导体工艺制作的螺旋电感的图形生成方法，包括：设置螺旋电感的线圈匝数为M，单匝线圈的形状为N边形；以内圈所在N边形的中心为XY轴坐标中心原点，对应划分成N个区域，第一个区域设置有平行X轴或Y轴的起点边和终点边，其他N‑1个区域分别对应N边形的一条边：起点边和终点边之间的距离相对原点的距离之差为S，N+1边之间相对于原点的间距为以下表达式：，r为N边形线圈的内径；i=1、2、3…N+1；Step=S/N，S为所述N边形线圈的线宽和线距之和；分别列出N条边所在区域对应的线性关系式，求解两相邻边的交点坐标为N边形的一个顶点坐标，依此方式获得其他顶点坐标，绘制螺旋电感的单匝线圈。