一种芯片检测扫描电镜

本发明公开了一种芯片检测扫描电镜，包括壳体，壳体内沿竖向设置有扫描电子显微镜装置、样品台，壳体内还倾斜设置有聚焦离子束装置，样品台包括底座以及可摆动地设置在底座上的第一平台，底座上设置有用于驱动第一平台发生偏转的偏转装置，底座上设置有连接座，连接座上可摆动地设置有第二平台，第二平台位于第一平台的上方；连接座上还设置有驱动机构。与现有技术相比，本发明的芯片检测扫描电镜利用了设备原有样品台（即第一平台）的偏转实现对第二平台的偏转驱动，通过第一平台的多次偏转可实现第二平台更大幅度的偏转，使得芯片检测使用场景得到拓展，例如可实现对芯片更大角度的检测观察。