扫描电镜

本申请涉及扫描电镜技术领域，更具体的说是涉及一种扫描电镜，包括安装架、电镜主体、抽真空机构、转接头、减振机构以及真空管结构，电镜主体包括镜筒和样品仓，抽真空机构用于对镜筒和样品仓同步抽真空；减振机构设置于安装架和电镜主体之间；转接头包括转接管、第一接头和第二接头，第一接头和第二接头设置于转接管的两侧；真空管结构包括第一柔性管、第一刚性管、第二柔性管和第二刚性管，第一柔性管和第二柔性管竖直放置。由于柔性管和抽真空机构连接，刚性管和电镜主体连接，对称的柔性管能够平衡抽真空过程中的拉力，以减少该拉力对电镜主体的影响，从而降低了对图像质量的影响，有效保证了扫描电镜检测的准确性和图像的清晰度。