管路清理装置、半导体工艺设备和尾排管路清理方法

本发明提供了一种管路清理装置、半导体工艺设备和尾排管路清理方法，涉及半导体加工技术领域，以解决尾排管路内附着副产物的问题。管路清理装置，应用于半导体工艺设备，管路清理装置包括电离组件以及气体输入组件，电离组件包括相对设置且相互之间绝缘设置的高压电极和接地电极，电离组件配置为设置于尾排管路中；气体输入组件配置为安装于被清理的尾排管路，气体输入组件用于提供高压电极与接地电极之间的气体。其可以有效地清理尾排管路中附着的副产物。