基于MgTeMoO-石墨烯微腔结构的可调谐红外多共振热发射器系统

本发明公开了一种基于MgTeMoO–石墨烯微腔结构的可调谐红外多共振热发射器系统，通过实现MgTeMoO声子极化激元与石墨烯等离激元之间的强耦合，增强了杂化模式下的光‑物质相互作用，提高热发射峰值强度与方向性；利用三振子模型预测多频共振的同时，借助石墨烯费米能级调控机制，可实现动态、连续、可控的波长调谐；得益于MgTeMoO材料的广谱声子响应及其优良晶格特性，本系统有效填补了远红外波段内可调谐热发射器的结构空缺；可集成性与工艺兼容性强：结构整体厚度小、层次分明，适合与现有MEMS红外芯片平台、热光源阵列、传感阵列系统进行集成应用；本发明通过构建一种MgTeMoO‑石墨烯微腔结构，实现了多共振模态的中红外热发射控制，为多频热光源、红外功能器件和动态热辐射调控技术提供了全新的解决方案和理论支撑，具有广阔的应用前景和实际价值。