一种超临界氨水复合体系的AlGaAs半导体激光器腔面处理方法

本发明涉及一种超临界氨水复合体系的AlGaAs半导体激光器腔面处理方法，包括：在预镀AlO薄膜的AlGaAs解理面上，采用SCNH:SCHO混合超临界流体SCF，通过梯度升压处理，形成AlON界面层。本发明利用SCNH+SCHO的纳米渗透性修复AlO/AlGaAs界面的悬挂键；将部分AlO转化为氮氧化铝(AlON)，提升阻氧性与界面结合力。使用低温优势，兼容已镀膜激光器。