一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法

本申请涉及半导体器件的技术领域，公开一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法。其中激光器包括：顺次设置的衬底、下分布式布拉格反射镜以及激光层，激光层包括多个通过隔离区隔开的激光单元，每个激光单元包括具有点缺陷的孔阵列；光栅层，与激光层之间设有绝缘层，光栅层包括多个光栅结构，每个光栅结构设置于一个激光单元的顶部，并覆盖对应的孔阵列；多个环形电极，每个环形电极套设在一个光栅结构周部，且环形电极内环与光栅结构之间具有间隙，每个环形电极与公共电极单独形成环路。本申请的多波长垂直腔面发射激光器，能够并行输出多个波长稳定、偏振稳定且可独立调谐的激光。