一种射频电源充放电功率控制系统

本发明涉及射频电源控制技术领域，具体为一种射频电源充放电功率控制系统，包括：功率因数校正电路，其用于将市电转化为用于供能的工作电源，工作电源是稳定、纯净的高压直流电；射频信号控制模块，其包括信息监测单元、负载阻抗预测单元和射频信号控制单元；信息监测单元用于实时检测负载端的工作信息；负载阻抗预测单元用于根据工作信息预测下一时刻的预测负载阻抗；本发明通过计算反应腔内部温度、压强和射频电源功率之间的相互影响，相较于常见的仅根据反应腔内部温度、压强和射频电源功率对负载阻抗的单独影响来说，可以有效提高对未来负载阻抗变化的预测精度，以便于后期根据其调整工作电源，避免失配的情况出现。