光刻机的准分子激光器的电源驱动电路

提供了一种光刻机的准分子激光器的电源驱动电路，包括：多级电容串联升压模块，其中，第一级储能电容的正极经由第一级二极管连接到电源，负极与电源负极连接；所述多级电容串联升压模块中的本级储能电容的正极经由下一级二极管与下一级储能电容的正极连接，且经由本级的第一开关晶体管与下一级储能电容的负极连接，且所述本级储能电容的负极经由本级的第二开关晶体管与下一级储能电容的负极连接；最后一级储能电容的正极与电感直接连接，且所述最后一级储能电容的负极通过最后一级的第二开关晶体管与所述电感连接。这样，通过多级电容串联升压来在减小体积的同时实现高升压比和低损耗，并通过开关晶体管实现高精度可调节脉冲能力。