基于应变片的微动台迟滞补偿驱动控制系统及控制方法

本发明公开了一种基于应变片的微动台迟滞补偿驱动控制系统及控制方法，涉及微定位控制技术领域。系统包括微动台机械模块、位移检测反馈模块、控制模块及功放模块；机械模块中，压电陶瓷堆驱动移动台，第一、第二柔性铰链组分别用于导向与传递驱动力，且均对称布局；位移检测反馈模块通过粘贴于第一柔性铰链的应变片及惠斯通电桥输出电压信号；控制模块依电压信号与应变‑位移线性关系反推实际位移，对比指令生成控制信号；功放模块转换信号为驱动电压调整压电陶瓷堆，实现闭环控制以抑制迟滞误差。本发明实现系统一体化，降低成本与操作难度，提升定位精度与可靠性。