一种声表面波滤波器及其制作方法

本发明提供了一种声表面波滤波器及其制作方法，其中，声表面波滤波器包括：衬底，衬底设置有多个第一凹槽，每个第一凹槽内设置有互联层；多个谐振器，多个谐振器设置在衬底上；多个谐振器包括间隔谐振器和相邻谐振器，其中，每个谐振器包括多个叉指电极和与多个叉指电极连接的汇流条，间隔谐振器的汇流条与第一凹槽内的互联层电连接以使间隔谐振器电连接。通过在衬底中设置互联层替代了传统通过Polyimide/Oxide等介质层形成跨桥并借助PAD金属进行连接的方式，简化了器件的层间结构，降低了生产的复杂度，有效缩短了生产周期。