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一种用于碳化硅高频感应加热设备的散热控制方法及系统

발명유효
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§ Ⅰ

개요

발명자

王立宏; 钱镇; 董希标; 王建龙

IPC 분류

H05B 6/42 (2006.01)H05K 7/20 (2006.01)

本发明涉及散热控制技术领域,公开了一种用于碳化硅高频感应加热设备的散热控制方法及系统,该方法包括:将实时功率在水冷数据库中进行对比确定功率相似度,基于功率相似度判断执行历史策略或聚类策略,基于所有的历史散热记录建立噪音曲线,基于噪音曲线和碳化硅加热要求确定是否调整水冷参数,基于待检测波形判断是否二次调整所述水冷参数,当判断对水冷参数进行一次调整时,基于卷积神经网络模型或者噪音曲线对水冷参数进行调整,当判断对水冷参数进行二次调整时,基于关联规则算法和贝叶斯模型对水冷参数进行调整,并以调整后的水冷参数进行散热。本发明确保了散热的稳定性。