一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法

本发明公开了等离子体源技术领域内的一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法。该控制系统的控制单元内置LSF负载阻抗预测模型和频率簇调制模块，控制PWM驱动单元输出脉冲信号；维持电路用于进入恒功率阶段后维持母线电压稳定；采样单元采集谐振输出电压和电流；多传感器模块监测反应腔体的气体流量Q、压力P和温度T；LSF模型基于Q、P、T输出负载阻抗预测值；频率簇调制模块在恒功率阶段时分段调整开关频率。该控制系统利用LSF负载阻抗预测模型能实现负载阻抗的精准预测，并通过频率簇调制模块分段控制调整开关频率，实现开关频率无超调的平滑响应，精准适配负载变化，扩大工艺窗口，保障等离子体源恒功率稳定运行。