一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法

本发明属于等离子体源设备技术领域，具体涉及一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法。本发明包括：等离子体源，设有进气口和出气口，进气口通入前驱体和反应气体；颗粒收集罐；真空泵；加热系统；等离子体源包括：环形腔体，两组磁芯，分别设在环形腔体中部外周面上；点火头组件，设在环形腔体一侧，点火头组件内设点火电极，点火电极为圆台状。本发明旨在利用高密度等离子体技术，解决现有等离子体源难以监测反应物是否反应充分，以及反应后相应副产物残留量，实现前驱体高效彻底分解，避免形成黏性副产物以防止前驱体气相凝结，提高泵的MTBF，防止排气管道堵塞或爆裂，消除安全隐患，保护工艺设备并提升环境安全性。