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半导体结构及其制造方法

발명유효
20청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

IPC 분류

H10B 12/00 (2023.01)

本发明提供一种半导体结构及其制造方法。半导体结构包括位元线结构、第一介电层、第一栅极结构、第一位元线、第二介电层和第一存储栅极结构。第一介电层设置在位元线结构上方。第一栅极结构埋设在第一介电层中。第一字元线埋设于第一介电层中且环绕第一栅极结构。第二介电层设置于第一介电层上方。第一存储栅极结构埋设于第二介电层中。本发明提供的半导体结构及其制造方法可以降低成本,并且在相同单元尺寸下使DRAM的容量提高至少1.5倍。