一种JFET器件及其制造方法

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种JFET器件及其制造方法，其包括衬底（104），衬底（104）上形成栅极沟槽，衬底（104）上注入有源极N+区（106）和位于栅极沟槽侧壁的栅极P区（105），栅极P区（105）、源极N+区（106）上设有栅极合金层（107）和源极合金层（108），还包括位于沟槽侧壁上的栅极‑源极介质层B（110），沟槽底部电镀填充有栅极导电介质（201），栅极导电介质（201）上还填充有栅源介质层（209），还包括分别位于器件顶部和底部的源极金属（102）和漏极金属（103）。本申请以灵活调节电镀的电流大小、溶液配比等方式来实现栅极沟槽的良好填充，具有较强的导电能力、提升体二极管续流能力，减小了系统成本。