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一种无结晶体管

발명유효
4조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

徐勇; 窦存花; 张骥; 索林.科里斯托诺夫; 李彬鸿; 王云

IPC 분류

H10D 62/10 (2025.01)H10D 62/60 (2025.01)

本申请提供一种无结晶体管,包括衬底,以及衬底上依次层叠的埋氧层、核层和壳层,壳层的掺杂浓度小于核层的掺杂浓度,壳层上具有栅极,壳层在沿衬底的表面的第一方向上的尺寸大于栅极沿第一方向的尺寸,也就是说,相比于壳层在第一方向的尺寸等于栅极在第一方向的尺寸的情况而言,本方案对壳层在第一方向的尺寸进行了增大,使沟道中的载流子较少收到源漏电场的作用,而几乎只受到栅极电场控制,器件开始时壳层由于掺杂浓度低或不掺杂,因此载流子迁移率较高,因此能够使器件具有更低的关态电流和更高的开态电流,提高器件性能。