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案件記録
一种双向开关器件及其制备方法、电子设备
発明有効
10請求項 · 3 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
熊康林
IPC分類
H10D 84/82 (2025.01)H10D 64/00 (2025.01)H10D 84/03 (2025.01)H10D 62/10 (2025.01)
本申请公开了一种双向开关器件及其制备方法、电子设备。双向开关器件包括依次设置的衬底和沟道层,以及位于所述沟道层上的两端且分别左右对称的第一源极、第二源极以及第一栅极、第二栅极;还包括设置于所述第一栅极和所述第二栅极之间的所述沟道层上的介质层;所述介质层包括远离所述沟道层的中间区域的倾斜台面结构,还包括在所述倾斜台面结构的左右两侧的第一场板和第二场板,以使所述第一场板和所述第二场板分别包覆所述台面结构左右两侧的裸露部分,所述第一场板和所述第二场板不接触。双向开关器件的倾斜台面结构及对应的场板,可以提高相邻栅极之间电场均匀性,从而可以缩小之间的距离,降低成本,提升性能。
外部リソース