具有高压、中压和低压晶体管的结构及其制作方法

本发明公开一种具有高压晶体管、中压晶体管和低压晶体管的结构及其制作方法，其中具有高压、中压和低压晶体管的结构包含一基底，基底包含一高压区、一中压区和一低压区，一高压晶体管设置于高压区，高压晶体管包含一第一栅极介电层埋入于基底，一第一栅极结构设置于第一栅极介电层上，一中压晶体管设置于中压区，中压晶体管包含一第二栅极介电层埋入于基底，一第二栅极结构设置于第二栅极介电层上，其中第二栅极结构的厚度大于第一栅极结构的厚度。