一种空间错落型多色探测器结构及制备方法

本发明公开了一种空间错落型多色探测器结构及制备方法，包括：芯片每个基本单元包含n个探测器光敏元，其中n>3，其特点是光敏元前设置设有滤光膜的滤光片，且n个光敏元采用空间错落的排列结构，所述光敏元n入射面前设置的滤光片上制作波段n的滤光膜；在光敏元(n‑1)入射面前设置的滤光片上制作波段(n‑1)+波段n的滤光膜；依次类推，在光敏元1入射面前设置的滤光片上制作波段1+波段2+……+波段(n‑1)+波段n的滤光膜，组成空间错落的多色探测器结构。本发明与现有技术相比具有制作工艺新颖、简单，实用性强等优点，减少制作精度误差造成的相邻多色像元间的串扰，为多色探测器的实用化及性能提升提供依据，尤其适用于非常规平面型和垂直型多色探测器结构及制备。