一种晶硅电池激光开膜钝化隔离方法

本发明提供了一种晶硅电池激光开膜钝化隔离方法，包括以下步骤：对电池片清洗制绒后硼扩氧化处理；激光开膜钝化隔离；对电池片依次进行碱抛背面刻蚀、去除BSG、LPCVD沉积隧穿氧层和LPCVD沉积poly硅钝化层、磷掺杂、激光改性减薄、去除PSG及正面刻蚀RCA、沉积AIO钝化层、镀SINx膜形成固定薄膜、印刷金属电极；激光诱导辅助烧结，通过激光对电池片中间和边缘进行激光作用，将PN结改性；将电池片顶部相对两侧进行激光切割，以获得若干个槽口。本发明对电池片通过激光刻蚀结合湿法刻蚀的方法进行激光开膜钝化隔离，大大降低造成显著的表面复合损失，可避免降低电池片的开路电压和填充因子，整体均匀性好、良率高。