一种复合图形化衬底及其倾角控制方法

本发明公开了一种复合图形化衬底及其倾角控制方法，方法包括提供复合衬底；复合衬底包括衬底和异质层；在复合衬底表面形成光刻胶层，并对光刻胶层进行图案化，形成胶柱掩膜；通过利用第一刻蚀工艺，通过向第一刻蚀工艺的反应腔室内至少通入第一刻蚀气体，以调节异质层和胶柱掩膜的刻蚀速率，使异质层的倾角呈第一预设角度；利用第二刻蚀工艺，通过向第二刻蚀工艺的反应腔室内至少通入第一刻蚀气体，以去除胶柱掩膜，并使异质层的倾角呈第一目标角度，衬底的倾角呈第二目标角度。利用上述方法，通过主第二刻蚀工艺，实现了对异质层倾角和衬底倾角的精准控制，形成了不同类型的异质层与衬底倾角图形结构，为复合图形化衬底多场景应用提供可能。