一种外延结构、衬底、LED芯片及其制作方法

一种外延结构、衬底、LED芯片及其制作方法，外延结构具有若干与LED芯片对应的芯片区域，芯片区域的外轮廓线上具有对标点；外延结构具体包括衬底和外延叠层；衬底的第一表面具有图形区域和位于相邻图形区域之间的预留区域；各图形区域的图形数量相等且均匀分布；预留区域上具有对标图形，对标图形与对标点相对应，用于将芯片区域的外轮廓线定位于预留区域内。外延叠层位于第一表面；外延叠层包括沿背离衬底的方向层叠设置的第一型半导体层、有源层和第二型半导体层。该外延结构分割形成的每颗LED芯片包含图形区域，图形区域的图形数量相等且均匀分布，降低光提取效率差异和波长漂移，进而降低亮度不均匀性，解决“亮暗颗粒”缺陷。