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기록
基于液态金属辅助剥离的二维超薄氧化镓薄膜及应用
발명유효
3조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
刘为振; 姜禹丞; 仲玮恒; 彭智豪; 李雅辉
IPC 분류
H10P 14/20 (2026.01)H10P 72/70 (2026.01)H10F 77/12 (2025.01)H10F 30/21 (2025.01)H10F 71/00 (2025.01)B82Y 40/00 (2011.01)
本发明公开了基于液态金属辅助剥离的二维超薄氧化镓薄膜及应用,首先利用镓液态金属良好的流动性、浸润性使其在滴到β‑GaO衬底上产生自流平效果,在凝固后,固态的金属与β‑GaO衬底间界面处的共价键结合力强于β‑GaO晶体内部的内键,再用PDMS贴合至固态镓金属上,PDMS、凝固的液态金属、β‑GaO衬底三者紧密的结合在一起,使得β‑GaO衬底表层部分可以克服与衬底间的作用并最终与之分离,转移至新衬底上,再去除表面PDMS、镓;避免了其它物质的污染,成本低廉,并且能够有效制备出大面积、高结晶度的二维超薄β‑GaO薄膜,可用于日盲紫外光的探测。