信息处理装置和性能评价方法

本发明提供一种提高基片处理装置的配方的性能评价容易度的技术。本发明的信息处理装置对按照配方进行成膜处理的基片处理装置的所述配方进行性能评价，所述信息处理装置包括：预测部，其预测按照配方进行成膜处理的基片处理装置的成膜结果；配方性能评价部，其根据预测出的基片处理装置的成膜结果，按每个评价项目进行配方的性能评价；和显示控制部，其按每个所述评价项目显示配方的性能评价。